下载一种高温蒸发源的技术资料

文档序号:12458053

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本实用新型属于超高真空设备的薄膜生长领域,特别涉及一种高温蒸发源。高温蒸发源主体的加热部分由缠绕在对装陶瓷座上的电阻丝构成,将样品(固体小块或粉末)放入坩埚,对电阻丝通电,电阻丝实际处于短路状态,所以会大量产热,并直接辐射至坩埚,电阻丝近距...
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