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一种硅片研磨抛光设备，包括抛光盘和置于抛光盘上方的研磨压头，研磨压头下端面设有用于固定硅片的陶瓷片，抛光盘的上端面上设有固定柱，固定柱上转动连接有定位轮，其中，位于定位轮上方的固定柱上设有防护罩，该防护罩由水平板和设在水平板一侧边且向下弯折...
该专利属于麦斯克电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦斯克电子材料有限公司授权不得商用。

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