下载一种真空溅射机的技术资料

文档序号:12443218

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本实用新型涉及玻璃加工设备技术领域,尤其涉及一种真空溅射机,采用如下技术方案:包括真空腔室、抽真空装置、玻璃基材传动辊、阳极和阴极靶材、供气系统、挡板机构,阴极靶材设置在真空腔室内,在位于阴极靶材下方设置用于驱动玻璃基材行进的传动辊,阴极靶...
该专利属于广东光耀玻璃有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东光耀玻璃有限公司授权不得商用。

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