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本发明涉及光电传感器技术领域，特别涉及一种用于红外热成像传感器以及THz图像传感器的铁电氧化钒复合薄膜F_VOx及其制备方法,该铁电氧化钒复合薄膜是由氧化钒薄膜和金属铌或者铌基铁电材料薄膜复合而成的铌基铁电‑氧化钒双层复合薄膜。本发明首次利...
该专利属于合肥芯福传感器技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯福传感器技术有限公司授权不得商用。

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