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本发明公开了一种半导体生产设备支架，包括一呈长方体的支架本体，所述支架本体的内部呈中空状，所述支架本体的一正面呈敞开状，所述支架本体长度方向的一端固定一正方体定位块，所述定位块上设有一定位孔，所述定位孔的轴心线与所述支架本体长度方向的中心线...
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