下载一种具有抗单粒子效应的VDMOS器件的技术资料

文档序号:12420579

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本发明属于功率半导体器件技术领域,具体的说涉及一种具有抗单粒子效应的VDMOS器件。本发明的主要技术方案为采用的技术方案主要为在栅极下方的外延层中设置与源极相连的第二导电类型半导体柱,产生横向电场,改变空穴的流经路径,从而避免发生寄生晶体管...
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