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一种飞秒激光网格化铁电陶瓷方法技术
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文档序号:12419731
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本发明涉及一种飞秒激光网格化铁电陶瓷方法,属于微细加工技术领域。本发明飞秒激光网格化铁电陶瓷方法,是用光刻、金属沉积、刻蚀的方法在铁电陶瓷上制备网格化的金属图案,飞秒激光刻蚀根据预先制备的网格化金属图案进行网格加工,实现了高精度网格列阵。本...
该专利属于昆明物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过昆明物理研究所授权不得商用。
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