温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种固定圆板及具备该固定圆板的真空泵，所述固定圆板具备使排气效率提高的连通孔，所述真空泵具备西格巴恩型分子泵部。涉及本发明的实施方式的真空泵具有西格巴恩型分子泵部，在配设的固定圆板上，具备使该固定圆板的轴线方向上的上方空间（吸气口...
该专利属于埃地沃兹日本有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃地沃兹日本有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。