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双腔压电气体泵制造技术
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文档序号:12413535
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本实用新型涉及一种双腔压电气体泵,包括外壳、进气阀和出气阀,外壳包括上壳和下壳,进气阀包括与外界连通的上进气阀和下进气阀,出气阀包括上出气阀和下出气阀,上出气阀与上出气管道连通,下出气阀与下出气管道连通,上壳和下壳之间设有双面压电陶瓷振子,...
该专利属于李伦所有,仅供学习研究参考,未经过李伦授权不得商用。
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