下载鳍式场效应晶体管及其形成方法的技术资料

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一种鳍式场效应晶体管及其形成方法,所述鳍式场效应晶体管的形成方法包括:提供半导体衬底;在所述半导体衬底上形成第一鳍部;在半导体衬底上形成表面与第一鳍部的顶部表面齐平的隔离材料层;对第一鳍部进行迁移率增强离子注入,在第一鳍部的顶端形成注入区;...
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