专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
株式会社岛津制作所
>
电弧等离子体成膜装置制造方法及图纸
>技术资料下载
下载电弧等离子体成膜装置的技术资料
文档序号:12406900
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明的电弧等离子体成膜装置包括:成膜腔室,储存作为处理对象的基板;等离子体腔室,储存靶的至少一部分,且与成膜腔室连结;以及多个中空线圈,在靶与成膜腔室之间具有至少一处弯曲部以产生连续的磁力线,被包含非磁性金属的外皮覆盖,且配置于等离子体腔...
该专利属于株式会社岛津制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。