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本发明公开了一种快速自由基增强化学气相沉积薄膜的方法。在等离子体扩散区的顶端和两侧设有永磁铁组，形成类磁镜场位形磁场分布，以增强和稳定位形等离子体放电等离子体发生区设有与气源连接的上、下进气管以及与同轴微波源相连接的同轴圆波导。在永磁铁组件...
该专利属于中国科学院等离子体物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院等离子体物理研究所授权不得商用。

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