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本发明提供一种硅基液晶显示装置反射镜面及其制作方法，所述方法包括：提供硅基底，在所述硅基底上形成金属层；刻蚀所述金属层至露出所述硅基底，以形成沟槽；在所述硅基底和金属层上沉积形成绝缘层，且将所述绝缘层填满所述沟槽；刻蚀所述绝缘层至露出所述金...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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