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本发明涉及一种焊盘下装置的检测结构及检测方法，所述检测结构包括位于所述焊盘下方的检测单元；其中，所述检测单元包括若干环形振荡器，所述若干环形振荡器线形排列形成线形阵列或者内外嵌套形成环形阵列。本发明为了解决现有技术中存在的问题，提供了一种焊...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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