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覆盖工具及其制造方法技术
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文档序号:12388664
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本发明提供一种覆盖工具,其是在基材的表面上覆盖有类金刚石覆膜的覆盖工具,前述类金刚石覆膜的纳米压痕硬度为50GPa以上且100GPa以下,前述类金刚石覆膜的氢原子和氮原子的含量从基材侧向厚度方向减少,前述类金刚石覆膜的表面的氢原子的含量为0...
该专利属于日立金属株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日立金属株式会社授权不得商用。
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