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本发明提供一种高压功率器件及其形成方法，该器件包括：第一掺杂区，其具有第一掺杂类型；一个或多个器件掺杂区，位于所述第一掺杂区的上表面内，该器件掺杂区具有与所述第一掺杂类型相反的第二掺杂类型；第二掺杂类型的一个或多个第二掺杂区，所述第二掺杂区...
该专利属于杭州士兰微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州士兰微电子股份有限公司授权不得商用。

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