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一种MEMS电容式压力传感器的制作方法，采用预先在衬底表面形成凹部来作为电容间隙，通过深槽隔离和键合技术来制作电容的两个电极，此方法不需要去除牺牲层工艺，避免了可动电极与衬底的粘连问题，大大提高了工艺的稳定性和产品的成品率。...
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