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本发明公开了一种位置侦测装置，用以侦测微机电装置的位置信息。位置侦测装置包括振荡电路、载波频率侦测器以及解调变器。振荡电路依据微机电装置所提供的等效电容来产生振荡信号。载波频率侦测器侦测振荡信号以获得振荡信号的载波频率信息。解调变器依据载波...
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