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用于加工半导体工件的方法和半导体工件技术
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文档序号:12386462
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本发明涉及用于加工半导体工件的方法和半导体工件。根据各种实施例的用于加工半导体器件的方法可以包括:在半导体工件上方沉积第一金属化层;使所述第一金属化层形成图案;以及在形成图案的第一金属化层上方沉积第二金属化层,其中沉积所述第二金属化层包括无...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
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