下载一种超辐射发光二极管芯片的制备方法及制得的发光二极管芯片的技术资料

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本发明涉及一种超辐射发光二极管芯片的制备方法,该方法包括:一次外延的步骤、形成脊的步骤、二次外延的步骤、形成隔离区的步骤、蒸发P型电极的步骤、蒸发N型电极、合金的步骤、镀膜的步骤。本发明还涉及由上述制备方法制得的超辐射发光二极管芯片。本发明...
该专利属于中国科学院福建物质结构研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院福建物质结构研究所授权不得商用。

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