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本发明公开了一种极小真空漏率测量装置及方法，该方法先维持校准室压力至本底压力，测量并计算出校准室的本底离子流的上升率R0；将被校真空标准漏孔流量引入校准室，进行静态累积，测量并计算出获得含被校真空标准漏孔和本底的离子流的上升率RL；向校准室...
该专利属于兰州空间技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。

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