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本实用新型涉及纳米镀膜设备技术领域，尤其涉及一种纳米材料真空镀膜机，包括用于将镀膜材料蒸发成气体的蒸发炉、对气体进行裂解反应的裂解炉以及对产品进行镀膜的镀膜装置，所述镀膜装置包括真空炉、对真空炉内进行抽真空的真空泵以及对真空炉内进行加压的加...
该专利属于广东易能纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东易能纳米科技有限公司授权不得商用。

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