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一种半导体芯片烘干装置，由烘箱、烘灯、氮气源、石英舟和石英容器组成；所述烘箱为箱体结构，烘灯吊装于烘箱内，石英容器设置于烘箱中，石英容器内部形成封闭空间，氮气源的出气口与石英容器的一端连接，石英容器的另一端设置有排气口，石英舟放置在石英容器...
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