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本实用新型提出了一种用于分子束外延工艺中碲锌镉衬底的转移夹具，其包括上夹板和下夹板，所述上夹板和所述下夹板分别包括：基板，所述基板上设置有沉降槽，所述沉降槽的侧壁上设置有用于支撑衬底的凸台，当所述上夹板扣合于所述下夹板上时，所述上夹板的沉降...
该专利属于中国电子科技集团公司第十一研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第十一研究所授权不得商用。

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