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本实用新型涉及一种旋转式圆柱形磁控靶，具有圆柱形靶材和空心双轴磁流体，圆柱形靶材一端安装在空心双轴磁流体的外轴上，圆柱形靶材另一端设有封盖；圆柱形靶材内部设有极靴及磁铁、冷却水和电极接线组件，极靴及磁铁、冷却水和电极接线组件一端安装在空心双...
该专利属于沈阳腾鳌真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳腾鳌真空技术有限公司授权不得商用。

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