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本实用新型提供一种硅片托架输送轨道，包括轨道架、滑动设置于轨道架上的硅片托架，轨道架上开设有U形行走槽，硅片托架的底部设置有两个行走块，行走块的相对外侧开设有滑槽，U形行走槽的两侧分别设置有若干转动滚轮，转动滚轮与滑槽相配合，U形行走槽的弧...
该专利属于中建材浚鑫科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中建材浚鑫科技股份有限公司授权不得商用。

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