下载一种辅助扩散后卸载硅片的支架的技术资料

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本实用新型涉及一种辅助扩散后卸载硅片的支架,包括L型的支撑板、与支撑板连接的承载板,所述支撑板将承载板支撑为一个25°—35°倾斜的斜坡,所述支承载板顶面垂直设有定位板,所述定位板为直角板,所述定位板的尖端朝向承载板低位一端,所述定位板设置...
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