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GaN层生长方法及所得LED外延层和LED芯片技术
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文档序号:12356171
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本发明提供了一种GaN层生长方法及所得LED外延层和LED芯片,其中生长方法,包括以下步骤:S1步骤:在950℃下,反应压力为400~500mbar的条件下,在GaN成核层上持续生长200~400s的第一GaN层;S2步骤:然后升温至100...
该专利属于湘能华磊光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湘能华磊光电股份有限公司授权不得商用。
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