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一种用于光刻设备的莫尔条纹对准装置，包括照明光源、第三1/4波片、偏振分光棱镜、第一1/4波片、4f透镜前组、空间滤波器、4f透镜组的后组、探测器、第二1/4波片、和三角棱镜和数据处理器。利用偏振分光棱镜将对准标记的同级次衍射光束空间分离为...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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