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一种带对位装置的双爪晶圆搬运机械手，该装置包括：晶圆搬运机械手A爪、晶圆搬运机械手B爪、固定板、固定块、A爪传感器座、B爪传感器座、A爪对位传感器、B爪对位传感器，晶圆搬运机械手A爪、晶圆搬运机械手B爪固定在固定板底面上，固定块固定在固定板...
该专利属于上海功源电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海功源电子科技有限公司授权不得商用。

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