温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

公开了一种改进和聚合基层上的氧化硅涂层，它改进了隔离性能。一种改进是在ＳｉＯ↓［２］中掺入一种或多种一定量的金属。另一种改进包括了第一种，在基层上形成ＳｉＯ，接着形成ＳｉＯ↓［２］涂层。另一种改进是组合的ＳｉＯ／ＳｉＯ↓［２］涂层，并在Ｓｉ...
该专利属于纳幕尔杜邦公司所有，仅供学习研究参考，未经过纳幕尔杜邦公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。