下载GaAs HBT器件的技术资料

文档序号:12350127

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本发明提供了一种GaAs HBT器件。该GaAs HBT器件包括衬底、N型GaAs集电区、P型GaAs基区、N型InGaP发射区、N型InGaAs帽层、介质层和TaN薄膜。N型集电区形成在衬底上,其表面划分为电极区域和非电极区域,所有区域形...
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