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本发明公开了一种复合卷绕ITO柔性基材单鼓立式连续磁控溅射真空设备，所述的卷绕柔性薄膜真空沉积系统包括两个分隔开的相互独立的低真空腔体和高真空腔体，所述低真空腔体与高真空腔体之间设置有高低真空隔板；所述低真空度腔体设置有可沿着水平轨道开合的...
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