下载一种制备高纯度多晶硅的方法的技术资料

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本发明公开了一种制备高纯度多晶硅的方法,包括:使用中频炉为热源,在真空炉内将坩埚在10分钟内加热至200℃,然后再次使坩埚温度在10分钟内升至500℃;将纯金属硅和造渣剂混匀成料放入坩埚中,调节中频炉频率,使坩埚和料在30分钟内的温度升至1...
该专利属于朱超所有,仅供学习研究参考,未经过朱超授权不得商用。

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