下载一种将冷端和热端分离的新型薄膜热电半导体器件制作方法的技术资料

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一种将冷端和热端分离的新型薄膜热电半导体器件制作方法。本发明提供一种采用薄膜制造技术将传统热电半导体器件的冷端和热端分离的全新的热电半导体器件。本发明的解决方案是,在耐高温薄膜(11)上制作热电半导体薄膜单元(13)、(14)及相关的导电薄...
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