下载具有窄间隙静电致动器的显示设备的技术资料

文档序号:12337491

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本发明提供用于将尖端间隙调整特征TGAF并入快门组合件的致动器中的系统、方法和设备。所述TGAF在所述快门组合件形成于模具上方期间被并入所述致动器的驱动梁中。所述TGAF经配置以使得其产生机械应力或应力梯度。当所述快门组合件从所述模具释放时...
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