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大孔径金刚石拉拔模涂层制备设备及制备方法技术
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文档序号:12330617
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本发明公开了一种大孔径金刚石拉拔模涂层制备设备及制备方法。它包括CVD沉积设备,CVD沉积设备内安装有能够由动力设备驱动旋转的旋转工作台以及竖直安装在旋转工作台上的拉拔模具,拉拔模具的内孔中有固定安装的热丝组件;热丝组件包括两片半环形的钼片...
该专利属于北京交通大学长三角研究院所有,仅供学习研究参考,未经过北京交通大学长三角研究院授权不得商用。
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