下载一种接触式平行板三维力压力传感器的技术资料

文档序号:12327047

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本实用新型公开了一种接触式平行板三维力压力传感器,所述传感器包括控制单元、与控制器分别连接的X方向电容单元组和Y方向电容单元组,所述X方向电容单元组和Y方向电容单元组均包括两个以上电容单元模块,所述电容单元模块采用由两个以上的条状电容单元组...
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