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本发明公开了一种基于纳米压入测试技术的超薄铜膜疲劳失效预测方法，属于薄膜疲劳失效预测方法。本发明的超薄铜膜疲劳失效预测方法的具体步骤如下：采用磁控溅射技术制备组织均匀的铜薄膜；将薄膜放在纳米压痕仪上，设定载荷平均值、载荷幅值、加载频率后进行...
该专利属于青岛文创科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛文创科技有限公司授权不得商用。

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