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本发明提供了一种用于检测半导体器件的电荷及电场响应的系统，包括：电流回路，待检测的半导体器件连接在所述电流回路中；脉冲激光器，用于向待检测的半导体器件周期性地施加激光脉冲，以在半导体器件处形成光生电荷；其中，光生电荷在电流回路中传输以形成瞬...
该专利属于中国科学院物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

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