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角速度传感器、电子设备以及移动体制造技术
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文档序号:12308693
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本发明提供一种能够使角速度的检测特性提高的角速度传感器、具备该角速度传感器的电子设备以及移动体。角速度传感器(1)的特征在于,具备:基板(10);多个质量部(21~24),其被配置在基板(10)上;各结合部(31~34),其将多个质量部21...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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