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本发明公开了一种含Lu、碳纳米管的芯片堆叠互连材料，属于芯片互连材料领域。该互连材料的稀土元素Lu含量为0.01～0.5％，碳纳米管为0.05～5％，其余为In。首先采用机械研磨制备In-Lu中间合金粉末，其次混合In-Lu粉末、In粉末、...
该专利属于江苏师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过江苏师范大学授权不得商用。

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