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提供一种化学机械抛光垫，其含有具有抛光表面的抛光层；和端点检测窗；其中所述端点检测窗包含包括以下的成分的反应产物：具有5.5到9.5重量％的未反应的NCO基团的异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物，其中所述异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物是包含以下...该专利属于罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司;陶氏环球技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司;陶氏环球技术有限公司授权不得商用。