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本发明公开了一种大口径抽除氙气低温泵。使用本发明能够实现对氙气的大抽速抽除，且耐溅射、无油蒸汽污染。本发明包括低温制冷机、吸附阵、热沉、防辐射屏、泵壳、障板、障板测温元件、吸附阵测温元件和一级冷屏。其中，吸附阵由多个长方形壳体组成，长方形壳...
该专利属于兰州空间技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。

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