下载具有单件式光学元件的检测系统的技术资料

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检测系统包括:检查区;单件式光学元件,其包括聚集从检查区接收的光的聚焦部分和使从聚焦部分接收的经聚集的光变得均匀的引导部分;以及配置成检测从引导部分接收的均匀光的检测器。可互换地被称为聚光器的光学元件可收集来自相对大的区域的入射光并使其朝着...
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