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本申请的发明涉及一种脆性材料基板的搬送方法及搬送装置。其课题在于沿着纵向及横向整齐排列功能区域，并通过裂断以消除树脂层后准确地搬送基板。搬送头(13)是利用线性滑块(12)而沿着梁(11)搬送。在搬送头(13)的下部设置着头部(40)。在头...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

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