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本发明公开了一种高密度高纯度溅射旋转银靶材的制备方法。首先将不锈钢按照客户要求加工好,然后用棕刚玉进行喷砂和用Cu-Al丝进行打底,打底层厚度为0.5毫米。再用碳化钨合金制作的拉瓦尔喷管对银粉进行喷涂,碳化钨设计的喷管结构如图1,银粉为球形...该专利属于厦门映日新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门映日新材料科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种高密度高纯度溅射旋转银靶材的制备方法。首先将不锈钢按照客户要求加工好,然后用棕刚玉进行喷砂和用Cu-Al丝进行打底,打底层厚度为0.5毫米。再用碳化钨合金制作的拉瓦尔喷管对银粉进行喷涂,碳化钨设计的喷管结构如图1,银粉为球形...