下载一种硅片的制绒方法的技术资料

文档序号:12301326

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本发明提供了一种硅片的制绒方法,包括以下步骤:在金刚线切割的多晶硅片表面形成物理损伤层,然后进行酸制绒。与现有技术相比,本发明在多晶硅片表面形成物理损伤层,相当于形成了缺陷点,在酸制绒的过程中反应激活能较低,相当于反应激活点,因此可在硅片表...
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