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本发明提供了一种用于同氮化物形成欧姆接触的金属叠层及其制作方法。所述金属叠层包括直接同氮化物接触的Ti金属层，贴合Ti金属层的Hf金属层，以及贴合Hf金属层的Cu金属层。本发明的优点在于，Ti和Hf是热稳定性良好的难熔金属。其在高温时与包括...
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