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本发明公开了一种数组波导光栅的加工方法，该方法是在数组波导光栅器件加工过程中包括一个在衬底层上沉积干蚀阻止层，再在干蚀阻止层上沉积波导芯层的步骤。该方法通过在波导芯材料和衬底材料之间设置一层干蚀阻止层，有效防止衬底层在波导芯成型过程中被过度...
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